特許
J-GLOBAL ID：202003000598355138
厚み測定装置および厚み測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ワンディーIPパートナーズ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-012152
公開番号（公開出願番号）：特開2017-133869
特許番号：特許第6725988号
出願日： 2016年01月26日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の参照面を有する第1の透過部材と、
前記第1の透過部材と対向して設けられ、第2の参照面を有する第2の透過部材と、
光源からの光を前記第1の参照面を介して前記第1の透過部材および前記第2の透過部材の間に位置する試料へ照射するための第1の投光部と、
前記第1の参照面からの反射光を受光し、かつ前記試料からの反射光を前記第1の参照面を介して受光するための第1の受光部と、
光源からの光を前記第2の参照面を介して前記試料へ照射するための第2の投光部と、
前記第2の参照面からの反射光を受光し、かつ前記試料からの反射光を前記第2の参照面を介して受光するための第2の受光部と、
前記第1の受光部によって受光された反射光、および前記第2の受光部によって受光された反射光を分光するための分光部とを備え、
前記第1の投光部は、光源からの光を、前記試料の表面であって前記第1の参照面に対向する表面付近に集光するためのレンズを含み、
前記第2の投光部は、光源からの光を、前記試料の表面であって前記第2の参照面に対向する表面付近に集光するためのレンズを含み、
前記分光部による分光結果に基づいて、前記第1の参照面と前記試料との間の距離である第1距離、および前記第2の参照面と前記試料との間の距離である第2距離が算出され、
前記第1の参照面と前記第2の参照面との間の距離から前記第1距離および前記第2距離を差し引くことにより前記試料の厚みが算出される、厚み測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
