特許
J-GLOBAL ID：202003000713131940
シグナル解析方法及び試料ガス識別方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-040625
公開番号（公開出願番号）：特開2017-156254
特許番号：特許第6713164号
出願日： 2016年03月03日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 受容体層を設けたナノメカニカルセンサに試料ガスを含む気流及び前記試料ガスを含まない気流を切り替えて供給し、
前記切替により前記ナノメカニカルセンサから出力されるシグナルの時間変化が時間tの定数倍を変数とする指数関数を含む関数であると見なすことにより、前記指数関数を含む関数から前記受容体層の材料の粘弾性的性質を表すパラメータ及び前記受容体層と前記試料ガスとの組み合わせにより決まるパラメータからなる群から選択された少なくとも一を、前記指数関数を含む関数を前記シグナルにフィッティングすることにより求める、
ナノメカニカルセンサを用いた測定におけるシグナル解析方法において、
前記群は前記試料ガスの前記受容体層の材料への拡散時定数、前記受容体層の材料の瞬間弾性率、前記受容体層の材料の緩和弾性率、前記受容体層の材料の応力緩和時間を含み、
前記指数関数を含む関数として下式の定数倍である第1の式
(ただし、αは下式
で表され、t0は基準時刻、τrは前記受容体層の材料の応力緩和時間、τsは前記試料ガスの前記受容体層の材料への拡散時定数であってτs≠τr、EUは前記受容体層の材料の瞬間弾性率、ERは前記受容体層の材料の緩和弾性率である)
の定数倍、及び
下式の定数倍である第2の式
(ただし、t0は基準時刻、EUは前記受容体層の材料の瞬間弾性率、ERは前記受容体層の材料の緩和弾性率であり、τは前記受容体層の材料の応力緩和時間及び前記試料ガスの前記受容体層の材料への拡散時定数であって、前記応力緩和時間と前記拡散時定数とは同じ値である)
を前記フィッティングの対象の候補とし、
前記受容体層の材料の応力緩和時間の値と前記試料ガスの前記受容体層の材料への拡散時定数の値とに基づいて前記第1の式と前記第2の式の何れを前記フィッティングの対象の式として選択するかを定める
ナノメカニカルセンサを用いた測定におけるシグナル解析方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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