特許
J-GLOBAL ID:202003001916714580
積層体およびその製造方法および使用方法ならびにガラス基板積層用ポリイミド前駆体溶液
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鮫島 睦
, 北原 康廣
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-570696
特許番号:特許第6661552号
出願日: 2016年01月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ガラス基板と、このガラス基板上に形成されたフィラ含有ポリイミド層を含むポリイミド被膜とからなる積層体であって、前記フィラの熱膨張係数が10ppm/°C以下であり、前記ポリイミド被膜が、前記フィラ含有ポリイミド層、および当該フィラ含有ポリイミド層上に形成されたフィラ非含有ポリイミド層を含むことを特徴とする積層体。
IPC (5件):
B32B 17/10 ( 200 6.01)
, C03C 17/32 ( 200 6.01)
, C08G 73/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/02 ( 200 6.01)
FI (5件):
B32B 17/10
, C03C 17/32 A
, C08G 73/10
, H05B 33/14 A
, H05B 33/02
引用特許:
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