特許
J-GLOBAL ID：202003006146914707
質量分析用試料プレート、質量分析方法および質量分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
棚井 澄雄
, 鈴木 三義
, 柳井 則子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-517917
特許番号：特許第6717298号
出願日： 2016年05月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材と、該基材上に形成された金属薄膜とを有し、
前記金属薄膜が、下記(A)〜(C)のいずれかの態様であることを特徴とする質量分析用試料プレート。
(A)Agと、Pd、Au、Pt、Ir、Cu、Al、Zn、Sn、Ni、Cr、Co、Zr、Si、Ti、Sb、Ga、Nd、GeおよびBiからなる群から選ばれる1種以上の添加元素MAgとを含み、前記金属薄膜における前記Agの原子数に対する前記添加元素MAgの原子数の合計の割合(MAg/Ag)が、0.001〜0.5である。
(B)Alと、Nd、Cu、Si、Mg、Cr、Mn、Zn、Fe、Ta、Ni、La、Ge、Ga、Ag、Au、Pd、Pt、IrおよびTiからなる群から選ばれる1種以上の添加元素MAlとを含み、前記金属薄膜における前記Alの原子数に対する前記添加元素MAlの原子数の合計の割合(MAl/Al)が0.001〜0.5である。
(C)Cuと、Sn、Zn、Pb、Ni、Al、Fe、Mn、Au、Ti、Cr、Mg、Si、In、Ga、Se、Ca、Ag、Au、Pd、Pt、IrおよびPからなる群から選ばれる1種以上の添加元素MCuとを含み、前記金属薄膜における前記Cuの原子数に対する前記添加元素MCuの原子数の合計の割合(MCu/Cu)が0.001〜0.5である。
IPC (3件)：
G01N 27/62 ( 200 6.01)
, G01N 27/64 ( 200 6.01)
, H01J 49/04 ( 200 6.01)
G01N 27/62 F
, G01N 27/64 B
, H01J 49/04
