特許
J-GLOBAL ID：202003008410213634

検査装置及び検査システム

発明者：
梶丸 孝志

梶丸 孝志 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロンデバイス株式会社

東京エレクトロンデバイス株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-156687
公開番号（公開出願番号）：特開2020-030145
出願日： 2018年08月23日
公開日（公表日）： 2020年02月27日
要約：
【課題】 複数種類の対象物の検査を迅速に実行可能な検査装置及び検査システムを提供する。【解決手段】 一実施形態に係る検査装置は、画像データから、対応する対象物の画像データを抽出する複数の認識処理部と、前記対象物の画像データに基づいて、前記対象物に対応する検査を実行する複数の検査処理部と、前記複数の認識処理部及び前記複数の検査処理部を制御する制御部と、を備える。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
画像データから、対応する対象物の画像データを抽出する複数の認識処理部と、 前記対象物の画像データに基づいて、前記対象物に対応する検査を実行する複数の検査処理部と、 前記複数の認識処理部及び前記複数の検査処理部を制御する制御部と、 を備える検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G06T 7/00
FI (3件)：
G01N21/88 J ,  G06T7/00 610 ,  G06T7/00 350B
Fターム (11件)：
2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096HA09 ,  5L096KA01 ,  5L096KA04
引用特許：
審査官引用 (10件)
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