特許
J-GLOBAL ID:202003008803508903
切削油組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
相田 伸二
, 鄭 元基
, 相田 京子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-558739
公開番号(公開出願番号):特表2020-518687
出願日: 2018年05月31日
公開日(公表日): 2020年06月25日
要約:
本発明は、切削油組成物に関し、層分離、分散性、粘度、ソーイング(Sawing)後のインゴット洗浄時間、ソーイング(Sawing)後のウエハー反り程度が従来の切削油組成物に比べて著しく優れる切削油組成物を提供するためのものであって、本発明の切削油組成物は、まず、高度に水素化処理された、化学式1乃至3で表される鉱油、増粘剤としてのベントナイト粘土、及び分散剤としてのトリオレイン酸グリセリンを含む切削油組成物である。本発明は、このような切削油組成物を用いて切削する方法に関する。
請求項(抜粋):
下記化学式1、化学式2及び化学式3で表される鉱油(mineral oil)を含む切削油組成物。
[化学式1]
R1-(CnH2n-4)a-R2
[化学式2]
R3-(CnH2n-2)b-R4
[化学式3]
R5-(CnH2n)c-R6
(式中、nは5または6であり、R1、R2、R3、R4、R5及びR6はそれぞれHまたはOHである。)
IPC (3件):
C10M 101/02
, C10M 125/30
, C10M 129/74
FI (3件):
C10M101/02
, C10M125/30
, C10M129/74
Fターム (9件):
4H104AA24C
, 4H104BB34C
, 4H104DA02A
, 4H104EB05
, 4H104EB07
, 4H104LA01
, 4H104LA02
, 4H104LA20
, 4H104PA22
引用特許:
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