特許
J-GLOBAL ID：202003009369787897

プラズマエッチング装置

発明者：
横尾 晋

横尾 晋 について

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西田 吉輝

西田 吉輝 について

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飯田 英一

飯田 英一 について

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千東 謙太

千東 謙太 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-221576
公開番号（公開出願番号）：特開2020-088203
出願日： 2018年11月27日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：
【課題】被加工物の吸着状況を容易に把握することができるプラズマエッチング装置を提供すること。【解決手段】プラズマエッチング装置は、被加工物を保持面11に静電吸着する静電吸着テーブル10と、被加工物にプラズマ化した処理ガスを供給するガス供給ユニットと、被加工物の搬出入用開口を備えるチャンバーと、チャンバー内を減圧する減圧ユニットと、搬送パッド61で被加工物を保持しチャンバーの静電吸着テーブル10に搬入・搬出する搬送ユニット60と、保持面11の帯電状態を検査する帯電検査ユニット70と、を備える。帯電検査ユニット70は、搬送パッドに装着され、対面する保持面11の帯電量を測定する表面電位計71と、表面電位計71の測定値と予め設定された帯電量の許容範囲とを比較する比較部と、測定値が許容範囲を超えたことを報知する報知部と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持面に静電吸着して固定する静電吸着テーブルと、該静電吸着テーブルに保持された被加工物にプラズマ化した処理ガスを供給するガス供給ユニットと、該静電吸着テーブルと該ガス供給ユニットとを収容し被加工物の搬出入用開口を備えるチャンバーと、該チャンバー内を減圧する減圧ユニットと、搬送パッドで該被加工物を保持し該チャンバーの該静電吸着テーブルに搬入・搬出する搬送ユニットと、該保持面の帯電状態を検査する帯電検査ユニットと、を備え、 該帯電検査ユニットは、 該搬送パッドに装着され、対面する該保持面の帯電量を測定する表面電位計と、 該表面電位計の測定値と予め設定された帯電量の許容範囲とを比較する比較部と、 該測定値が許容範囲を超えたことを報知する報知部と、を備えるプラズマエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/302 101G ,  H01L21/68 R
Fターム (30件)：
5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004CA03 ,  5F004CB06 ,  5F131AA02 ,  5F131AA22 ,  5F131BA19 ,  5F131CA68 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB22 ,  5F131DB43 ,  5F131DB54 ,  5F131EA03 ,  5F131EB14 ,  5F131EB16 ,  5F131EB17 ,  5F131EB22 ,  5F131KA03 ,  5F131KA40 ,  5F131KA43 ,  5F131KA52 ,  5F131KA72 ,  5F131KB30 ,  5F131KB43 ,  5F131KB45
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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