特許
J-GLOBAL ID：200903090266713910

静電チャックテーブル機構

発明者：
小野 貴司

小野 貴司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-137513
公開番号（公開出願番号）：特開2007-311462
出願日： 2006年05月17日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】被加工物に貼着された保護テープに帯電されている静電気を除去する機能を備えて静電チャックテーブル機構を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの内部に配設され電圧が印加されることにより電荷を発生する電極と、電極に電圧を印加する電圧印加手段とを具備する静電チャックテーブル機構であって、チャックテーブルに形成され保持面に開口するエアー供給通路と、エアー供給通路にイオン化されたエアーを供給するイオン化エアー供給手段とを具備している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの内部に配設され電圧が印加されることにより電荷を発生する電極と、該電極に電圧を印加する電圧印加手段と、を具備する静電チャックテーブル機構において、 該チャックテーブルに形成され該保持面に開口するエアー供給通路と、 該エアー供給通路にイオン化されたエアーを供給するイオン化エアー供給手段と、を具備している、 ことを特徴とする静電チャックテーブル機構。
IPC (2件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/302 106 ,  H01L21/68 P
Fターム (22件)：
5F004BB22 ,  5F004BC03 ,  5F004BC06 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004CA05 ,  5F004DA16 ,  5F004DA18 ,  5F004DA21 ,  5F004DA22 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F004FA08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA34 ,  5F031HA35 ,  5F031MA32 ,  5F031PA21
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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