対象物載置用部材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-188384
公開番号（公開出願番号）：特開2018-056237
特許番号：特許第6767829号
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対象物が載置される載置面を有する基体と、前記基体の内部に設けられ、前記載置面に形成された開口を通じて外部に連通する通気経路と、前記基体の内部または前記載置面と反対側の前記基体の裏面の下方に設けられたヒータと、を有する対象物載置用部材であって、前記通気経路には、前記載置面に対象物が載置されたときの対象物と対向する位置であって、前記ヒータよりも前記載置面側の位置に、通気性を有する通気性部材の少なくとも一部が配置され、前記基体の載置面には、複数のピン状の凸部が形成されていることを特徴とする対象物載置用部材。

IPC (2件)：