特許
J-GLOBAL ID：202003009533849297
窒化ガリウム結晶基板およびその結晶評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-131735
公開番号（公開出願番号）：特開2020-008497
出願日： 2018年07月11日
公開日（公表日）： 2020年01月16日
要約：
【課題】結晶品質の高い窒化ガリウム結晶基板およびその結晶品質を詳細に評価することができる窒化ガリウム結晶基板の結晶評価方法を提供する。【解決手段】窒化ガリウム結晶基板は、少なくとも1つの主面を有し、主面が(0001)からのオフ角が0°以上2°以下の面であり、小発散角入射X線を用いたX線回折測定において、<0001>とφ軸とが一致するように調整し、0001対称禁制ブラッグ反射についての入射角ωおよび回折角2θにおけるφ軸を回転軸としたφスキャンパターン測定において、バックグランド強度に対する少なくとも(1-100)および(-1101)に由来する第1基準X線多重回折ピークの強度の比が500以上であり、第1基準X線多重回折ピークの強度に対する少なくとも(02-21)および(0-220)に由来する第2基準多重回折ピークの強度の比が0.18以上である。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの主面を有する窒化ガリウム結晶基板であって、
前記主面が(0001)面からのオフ角が0°以上2°以下の面であり、
小発散角入射X線平行ビームを用いたX線回折測定において、2軸傾斜試料台上に前記主面が露出するように前記窒化ガリウム結晶基板を配置し、(0001)面の法線である<0001>軸とφ軸とが一致し、かつ、[1-100]方向をφ=0°の方向とするように調整し、
0001対称禁制ブラッグ反射についての入射角ωおよび回折角2θにおける前記φ軸を回転軸としたφスキャンパターン測定におけるφが-180°から180°までの測定において、結晶内におけるX線の多重回折により現われるX線多重回折パターンは、φが-180°から-60°まで、-60°から60°まで、および60°から180°までの120°毎に繰り返す3回回転対称性を有する3つの120°回転対称ピーク領域を備え、
各前記120°回転対称ピーク領域は、その領域のφの範囲の中央のφの角度を示す線および<0001>軸を含む面を鏡映面として互いに鏡映対称性を有する-領域と+領域とを備え、
各前記-領域は、その領域のφの範囲の中央のφの角度を示す線および<0001>軸の交点を中心として互いに回反対称性を有する-L領域と-R領域とを備え、
各前記+領域は、その領域のφの範囲の中央のφの角度を示す線および<0001>軸の交点を中心として互いに回反対称性を有する+L領域と+R領域とを備え、
各前記-L領域、各前記-R領域、各前記+L領域、および各前記+R領域の少なくとも1領域において、バックグランド強度に対する少なくとも(1-100)および(-1101)に由来する第1基準X線多重回折ピークの強度の比である第1基準ピーク強度比が500以上であり、
前記第1基準X線多重回折ピークの強度に対する少なくとも(02-21)および(0-220)に由来する第2基準多重回折ピークの強度の比である第2基準ピーク強度比が0.18以上である、窒化ガリウム結晶基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (33件)：
2G001AA01
, 2G001BA20
, 2G001CA01
, 2G001DA08
, 2G001EA01
, 2G001FA03
, 2G001FA18
, 2G001GA13
, 2G001JA02
, 2G001JA06
, 2G001JA08
, 2G001KA08
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA03
, 2G001NA15
, 2G001NA20
, 2G001PA12
, 2G001SA02
, 2G001SA07
, 4G077AA03
, 4G077AB02
, 4G077AB08
, 4G077BE15
, 4G077DB04
, 4G077DB05
, 4G077DB08
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077ED06
, 4G077GA03
, 4G077GA05
, 4G077HA12
