特許
J-GLOBAL ID：202003011077931037

カセットホルダ

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (5件)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣 ,  岡本 英哲 ,  岡野 貴之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-139484
公開番号（公開出願番号）：特開2020-017625
出願日： 2018年07月25日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：
【課題】カセットと、筐体と、の衝突が抑制された加工装置を提供する。【解決手段】ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、該カセット収容部が所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、を備える。該移動吸収支持部は、該カセット収容部を摺動可能に支持する支持板と、一対の側壁と、該カセット収容部の該後壁に対面する壁部と、該一対の側壁の一方、該一対の側壁の他方、及び、該壁部のいずれかと、該支持板に支持された該カセット収容部と、に接続された弾性部材と、を有してもよい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、 該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、 該カセット収容部が該カセット収容部の該底面部に沿った方向へ所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、を備えることを特徴とするカセットホルダ。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ,  B65D 81/07 ,  B65D 85/30
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65D81/07 ,  B65D85/30 500
Fターム (48件)：
3E066AA66 ,  3E066FA06 ,  3E066HA04 ,  3E066JA01 ,  3E066KA20 ,  3E066NA60 ,  3E096AA06 ,  3E096AA13 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DB10 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096GA04 ,  3E096GA11 ,  5F131AA02 ,  5F131AA21 ,  5F131AA22 ,  5F131BA32 ,  5F131CA09 ,  5F131CA22 ,  5F131DA05 ,  5F131DD02 ,  5F131DD43 ,  5F131DD94 ,  5F131EC32 ,  5F131EC44 ,  5F131EC62 ,  5F131FA02 ,  5F131FA13 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA03 ,  5F131GA63 ,  5F131GB02 ,  5F131GB22 ,  5F131GB25 ,  5F131GB29 ,  5F131HA02 ,  5F131HA04 ,  5F131HA07 ,  5F131KA14 ,  5F131KA27 ,  5F131KB17 ,  5F131KB58
引用特許：
審査官引用 (5件)
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