特許
J-GLOBAL ID：201703017295671503

基板収納容器及びその管理システム並びに基板収納容器の管理方法

発明者：
高橋 正人

高橋 正人 について

, 
戸田 順也

戸田 順也 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-104228
公開番号（公開出願番号）：特開2017-212322
出願日： 2016年05月25日
公開日（公表日）： 2017年11月30日
要約：
【課題】収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することのできる基板収納容器及びその管理システム並びに基板収納容器の管理方法を提供する。【解決手段】基板収納容器1に設けられてその使用状態を検出する検出手段30と、基板収納容器1に設けられてその検査点検時期を判断する小型の無線通信手段40と、検査点検時期の基板収納容器1を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段40による基板収納容器1の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器1の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、基板収納容器1が所定の関連周辺装置にアクセスされる管理システムであり、無線通信手段40は、少なくとも検出手段30の検出値と基板収納容器1に関する検査点検値とを演算処理部により比較し、この比較結果により、基板収納容器1の検査点検時期を判断する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器であって、 容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、容器本体と蓋体のいずれか一方に設けられて外部の通信装置と通信可能な無線通信手段と、この無線通信手段に接続されて容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に設けられる報知手段とを含み、 外部の通信装置と無線通信手段の少なくともいずれか一方は、検出手段の検出値と容器本体又は蓋体に関する閾値とを記録する機能、検出手段の検出値と容器本体又は蓋体に関する閾値とを比較する機能、及びこの比較結果に応じて容器本体又は蓋体の使用限度を判断する機能を実現し、 報知手段は、外部の通信装置と無線通信手段の少なくともいずれか一方が検出手段の検出値と容器本体又は蓋体に関する閾値とを比較した結果に応じた内容を報知することを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  H01L21/68 A
Fターム (28件)：
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131CA45 ,  5F131DA05 ,  5F131DA42 ,  5F131DC06 ,  5F131DC26 ,  5F131GA14 ,  5F131GA53 ,  5F131GA73 ,  5F131GA76 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131HA29 ,  5F131JA04 ,  5F131JA24 ,  5F131KA16 ,  5F131KA23 ,  5F131KA27 ,  5F131KA32 ,  5F131KA47 ,  5F131KA56 ,  5F131KA60 ,  5F131KA72 ,  5F131KA73 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB45
引用特許：
審査官引用 (4件)
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