紫外線照射方法及び紫外線照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-171628
公開番号（公開出願番号）：特開2018-037602
特許番号：特許第6739294号
出願日： 2016年09月02日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエーハに貼着され紫外線によって硬化する粘着層を有する粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射方法であって、ウエーハを液体が入った液槽に浸漬させ該粘着層と該ウエーハとの間から酸素を排除する酸素排除ステップと、該液槽に入った液体を介して該粘着層に紫外線を照射し該粘着層を硬化させて粘着力を低下させる紫外線照射ステップと、を具備する紫外線照射方法。

IPC (3件)：