特許

J-GLOBAL ID：202003011272649575

位相屈折率の導出方法、試料、位相屈折率の測定装置

発明者： 美濃島 薫 ,  浅原 彰文 ,  庄司 一郎
出願人/特許権者： 国立大学法人電気通信大学 ,  学校法人 中央大学
代理人 (3件)： 棚井 澄雄 ,  小林 淳一 ,  清水 雄一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-165528
公開番号（公開出願番号）：特開2020-038134
出願日： 2018年09月04日
公開日（公表日）： 2020年03月12日
要約：

【課題】デュアルコム分光法を用いて位相屈折率を正確に導出可能な位相屈折率の導出方法を提供する。【解決手段】本発明の位相屈折率の導出方法は、同一の試料において、所定の条件を満たすように厚みの差が互いに異なる複数の領域のそれぞれの位相スペクトルをデュアルコム分光によって取得する位相スペクトル取得工程と、取得した複数の前記位相スペクトルに基づき、前記厚みの差が小さい方から位相オフセット係数を算出し、算出した前記位相オフセット係数に基づき、前記試料の位相屈折率を導出する位相屈折率導出工程と、を備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

同一の試料において、所定の条件を満たすように厚みの差が互いに異なる複数の領域のそれぞれの位相スペクトルをデュアルコム分光によって取得する位相スペクトル取得工程と、 取得した複数の前記位相スペクトルに基づき、前記厚みの差が小さい方から位相オフセット係数を算出し、算出した前記位相オフセット係数に基づき、前記試料の位相屈折率を導出する位相屈折率導出工程と、 を備え、 前記所定の条件は(1)式で表される、位相屈折率の導出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/45 ,  G01J 3/45

FI (2件)：

G01N21/45 A ,  G01J3/45

Fターム (16件)：

2G020CA12 ,  2G020CB05 ,  2G020CC22 ,  2G020CC27 ,  2G020CC29 ,  2G020CD03 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE09 ,  2G059FF20 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ30 ,  2G059MM01 ,  2G059MM20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 位相段差素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-034022   出願人：松下電器産業株式会社
• 干渉計による2次元位相デ-タのアンラップ方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-068819   出願人：オリンパス株式会社
• 干渉検出装置、トモグラフィー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-046831   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

引用文献：

審査官引用 (1件)

• デュアルコム分光による屈折率分布の精密測定法の開発