材料を分配するためのシステム及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-547088
特許番号：特許第6700295号
出願日： 2016年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液体分配方法であって、分配デバイスを設ける工程であって、前記デバイスは、高さ(H)を有するチャンバと、直径(D)を有するノズルと、長さ(L)を有し、液体にエネルギーを印加する活性化要素とを各々が備え、前記チャンバは、再充填時間(RT)で液体を完全に再充填するための容積を有する、複数の液体分配要素と、前記液体分配要素と流体連通する液体収容リザーバと、前記液体分配要素と電気通信する制御要素と、を備え、前記ノズル直径(D)とチャンバ高さ(H)との比は3〜10であり、 1/(RT)を超える周波数で前記活性化要素を繰り返し活性化する工程を含む、方法。

IPC (1件)：