特許
J-GLOBAL ID：202003011470493670

アライメント方法

発明者：
宮田 諭

宮田 諭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-140157
公開番号（公開出願番号）：特開2020-017654
出願日： 2018年07月26日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：
【課題】分割予定ライン特定の際にアライメントマークを早く見つける。【解決手段】第1分割予定ラインS1と第2分割予定ラインS2とで区画された領域にデバイスDが形成されたウェーハWを撮像手段51で撮像し、アライメントマークMAを検出し、第1分割予定ラインS1及び第2分割予定ラインS2を特定するアライメント方法であり、撮像手段51の撮像領域510は該領域より小さく、撮像領域510より小領域のアライメントマークMAを含むターゲット画像GTを登録する工程と、テーブル30に保持させたウェーハWを撮像手段51で撮像した横並びの少なくとも2つの撮像画像を結合させ結合画像を形成し、結合画像形成毎に結合画像内のターゲット画像GTの有無をパターンマッチングして確認する工程と、ターゲット画像GT検出後、ターゲット画像GT内のアライメントマークMAから第1分割予定ラインS1と第2分割予定ラインS2とを特定するアライメント方法。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
表面に設定された第1の分割予定ラインと該第1の分割予定ラインと交差する第2の分割予定ラインとによって区画された領域にデバイスが形成されたウェーハをチャックテーブルに保持させ、該チャックテーブルが保持したウェーハを撮像手段で撮像して、該領域に配置されたアライメントマークを検出し、該第1の分割予定ライン及び該第2の分割予定ラインを特定するアライメント方法であって、 該撮像手段の撮像領域は該領域より小さく、該撮像領域より小さい領域のアライメントマークを含んだターゲット画像を登録する登録工程と、 新たに該チャックテーブルに保持させたウェーハを該撮像手段で撮像した横並びの少なくとも2つの撮像画像を結合させて結合画像を形成し、該結合画像を形成する毎に該結合画像内に該ターゲット画像が有るか無いかをパターンマッチングして確認する確認工程と、 該確認工程において該ターゲット画像を検出したら、該ターゲット画像内の該アライメントマークから該第1の分割予定ライン及び該第2の分割予定ラインを特定するアライメント方法。
IPC (5件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/683 ,  B24B 27/06 ,  B24B 49/12
FI (5件)：
H01L21/78 C ,  H01L21/68 F ,  H01L21/68 N ,  B24B27/06 M ,  B24B49/12
Fターム (48件)：
3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034BB93 ,  3C034CA13 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034CB14 ,  3C034DD10 ,  3C034DD13 ,  3C158AA03 ,  3C158AA12 ,  3C158AA16 ,  3C158AB03 ,  3C158AB04 ,  3C158AC02 ,  3C158BA07 ,  3C158BB02 ,  3C158BB08 ,  3C158BC01 ,  3C158BC02 ,  3C158CB03 ,  3C158DA17 ,  5F063AA37 ,  5F063AA48 ,  5F063CA04 ,  5F063DE04 ,  5F063DE05 ,  5F063DE06 ,  5F063DE33 ,  5F131AA02 ,  5F131BA52 ,  5F131CA32 ,  5F131EA05 ,  5F131EA12 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EC33 ,  5F131EC44 ,  5F131FA12 ,  5F131FA23 ,  5F131FA33 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB23
引用特許：
出願人引用 (4件)
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