特許
J-GLOBAL ID：202003011734378459
超音波検査装置及び超音波検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 中山 浩光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-216028
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072285
特許番号：特許第6745197号
出願日： 2016年11月04日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 パッケージ化された半導体デバイスを検査対象とする超音波検査装置であって、
前記半導体デバイスに対して超音波を出力する超音波振動子と、
前記超音波振動子と前記半導体デバイスとの間に前記超音波を伝搬させる媒質を保持する媒質保持部と、
前記半導体デバイスで反射した前記超音波の反射波を検出する反射検出部と、
前記半導体デバイスと前記超音波振動子との相対位置を移動させるステージと、
前記ステージの駆動を制御するステージ制御部と、
前記超音波振動子による超音波の入力に応じた前記半導体デバイスの反応を解析する解析部と、を備え、
前記媒質保持部は、前記超音波振動子の端部にスライド自在に設けられ、前記媒質を保持する容積可変の保持空間を形成する筒状部材を有し、
前記ステージ制御部は、前記反射検出部で検出された前記反射波の時間波形に出現するピークに基づいて、前記半導体デバイスと前記超音波振動子との距離を制御する超音波検査装置。
IPC (2件)：
G01N 29/265 ( 200 6.01)
, G01N 29/28 ( 200 6.01)
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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