特許
J-GLOBAL ID：200903001446836023
超音波映像検査方法および超音波映像検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-239631
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077341
出願日： 2002年08月20日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】水槽内に配置される試料を水等の媒質に接触させることなく、試料が電子部品等である場合に全数検査を可能にし、高精細な精度で欠陥を検査できる超音波映像検査方法および超音波映像検査装置を提供する。【解決手段】探傷器回路22で作られた電気信号を超音波探触子13で超音波に変換し媒質を介して試料20に照射し、この試料から戻る超音波を超音波探触子で電気信号に変換して試料の内部を映像化する超音波映像検査装置に適用される方法である。この方法では、試料20は、内部が負圧の試料保持具ケース19内に収容され、当該試料保持具ケースを媒質の中に入れる。超音波探触子に供給される電気信号は単一周波数のバースト波状電圧信号である。試料保持具ケース内の試料に対して弾性フィルム34を通してバースト波状電圧信号に基づくバースト波状超音波が照射される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
探傷信号生成回路で作られた電気信号を超音波探触子で超音波に変換し媒質を介して試料に照射し、この試料から戻る超音波を前記超音波探触子で電気信号に変換して前記試料の内部を映像化する超音波映像検査装置に適用される超音波映像検査方法であり、
前記媒質の外で、試料保持具ケースのケース本体の内部空間に前記試料を配置し、その上に弾性フィルムを配置し、開口部が形成された蓋部材で前記ケース本体の前記内部空間を閉じ、排気通路部を介して前記内部空間を真空ポンプで真空排気して前記弾性フィルムを前記試料に密着させ、前記試料保持具ケースを前記媒質の中に入れ、
前記超音波探触子に供給される前記電気信号は単一周波数のバースト波状電圧信号であり、
前記試料保持具ケース内の前記試料に対して前記弾性フィルムを通して前記バースト波状電圧信号に基づくバースト波状超音波を照射する、
ことを特徴とする超音波映像検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N29/06
, G01N29/04 503
2G047AA05
, 2G047AC10
, 2G047AD01
, 2G047BA03
, 2G047BB06
, 2G047BC07
, 2G047EA10
, 2G047EA11
, 2G047EA20
, 2G047GE01
, 2G047GF08
