特許
J-GLOBAL ID：202003012726735699
インプリント材吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-002753
公開番号（公開出願番号）：特開2016-197710
特許番号：特許第6700794号
出願日： 2016年01月08日
公開日（公表日）： 2016年11月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 モールドを接触させてパターンを形成するインプリント材を基板上に吐出するインプリント材吐出装置であって、
前記インプリント材を収容する収容部を有する収容部材と、
前記収容部に接続する通路と、
前記インプリント材を吐出する吐出部材と、
を有し、
前記吐出部材は、前記インプリント材が流通する領域と、前記領域と連通し前記領域を流通する前記インプリント材が外部に吐出される開口である吐出口と、駆動によって前記領域を流通する前記インプリント材を前記吐出口から吐出させる圧電素子または発熱抵抗体と、を有し、
前記領域は、前記吐出口と、前記圧電素子または発熱抵抗体との間の領域であって、前記吐出部材の内部の領域であり、
前記通路は、前記収容部に収容されたインプリント材を前記通路の内部に供給するための、前記収容部に開口する第1の開口と、前記第1の開口から供給されたインプリント材を前記収容部に供給するための、前記収容部に開口する第2の開口とを有し、
前記通路の前記第1の開口と前記第2の開口との間には前記インプリント材をろ過するフィルタがあり、前記第1の開口から前記通路の内部に供給されたインプリント材は、前記領域を介さずに、前記第2の開口から前記収容部に供給され、
前記収容部材と前記通路と前記吐出部材とが一体となったカートリッジ形態の吐出装置であることを特徴とするインプリント材吐出装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, H01L 21/30 564 Z
, B29C 59/02 Z
出願人引用 (11件)
-
処理液供給装置及び処理液供給方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-087342
出願人：東京エレクトロン株式会社
-
光硬化物の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2012-102342
出願人：キヤノン株式会社
-
液体噴射装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2014-000786
出願人：セイコーエプソン株式会社
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審査官引用 (9件)
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