特許
J-GLOBAL ID：201403081542412939
インプリント装置及びインプリント方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石川 泰男
, 奥 和幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092465
公開番号（公開出願番号）：特開2014-216471
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
要約：
【課題】インクジェットヘッドに清浄化されたレジストを安定して供給可能なインプリント装置等を提供する。【解決手段】メインタンク4に収容されているレジスト2をインクジェットヘッド30に供給する吐出ユニット50を備えたインプリント装置100において、レジスト2は、異物がフィルタ10aにより除去されて清浄化された後、その清浄度を保ちつつ流動させながらインクジェットヘッド30に供給される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
レジストを転写基板に吐出する吐出ユニットと、
凹凸パターンが形成された型材を用いて前記レジストを成型することにより前記転写基板上に前記凹凸パターンを転写する転写ユニットと、を備えたインプリント装置において、
前記吐出ユニットは、
前記レジストを収容する収容タンクと、
当該収容タンクから送り出される前記レジストに含まれる異物を除去するフィルタユニットと、
前記フィルタユニットによって清浄化されたレジストを流動させる流動ユニットと、
前記レジストを吐出するインクジェットヘッドと、を具備することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AC05
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PJ06
, 4F209PQ20
, 5F146AA31
