特許
J-GLOBAL ID：202003012847169941
メタルマスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-193819
公開番号（公開出願番号）：特開2018-053345
特許番号：特許第6729255号
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属基板にレーザを用いて開口部(貫通孔)を形成するメタルマスクの製造方法であって、次の1)、2)、3)、4)の工程を順次含むことを特徴とするメタルマスクの製造方法。
1)前記金属基板の第1面側にエッチングにより凹部を形成する工程。
2)前記凹部を含む前記第1面側、及び前記金属基板の第2面側に保護膜を形成する工程。
3)前記保護膜が形成された前記凹部、または前記第2面側で前記凹部に対向する部分にレーザを照射し、開口部を形成する工程。
4)前記第1面側の保護膜、及び第2面側の保護膜を除去する工程。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
C23C 14/04 A
, H05B 33/14 A
, H05B 33/10
