特許
J-GLOBAL ID：201503036062540025

メタルマスクの製造方法及びメタルマスク

発明者：
木 村 直 人

木 村 直 人 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  磯貝 克臣 ,  堀田 幸裕 ,  野本 裕史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-152052
公開番号（公開出願番号）：特開2015-021179
出願日： 2013年07月22日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：
【課題】大きなバリの生成を抑制しながら、板状の基材に微細な開口部を形成することができるメタルマスクの製造方法及びメタルマスクを提供する。【解決手段】金属材料からなる板状の基材の第1面をエッチングして当該第1面に局所的に凹部を形成する工程と、1ナノ秒より短いパルス幅のパルスレーザを前記基材の前記凹部の底面または当該底面の裏面に照射して、当該底面から当該底面の裏面までを貫通する孔部を形成する工程と、を備えたことを特徴とするメタルマスクの製造方法である。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
金属材料からなる板状の基材の第1面をエッチングして当該第1面に局所的に凹部を形成する工程と、 1ナノ秒より短いパルス幅のパルスレーザを前記基材の前記凹部の底面または当該底面の裏面に照射して、当該底面から当該底面の裏面までを貫通する孔部を形成する工程と、 を備えたことを特徴とするメタルマスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB18 ,  4K029HA01
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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