特許
J-GLOBAL ID:202003015687142870

臨界ノズル式ガス流量計の製造方法及び被検ガス流量計の調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人まこと国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-066864
公開番号(公開出願番号):特開2017-181213
特許番号:特許第6706748号
出願日: 2016年03月29日
公開日(公表日): 2017年10月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 複数の臨界ノズルと、各臨界ノズルに対応して設けられた開閉弁と、を有し、前記複数の臨界ノズルのうち少なくとも2つの臨界ノズルが、互いに異なるスロート径を有する臨界ノズル式ガス流量計の製造方法であって、 校正及び値付け可能な圧力範囲が0.6MPa以下で且つ校正及び値付け可能な流量範囲が0.1kg/min以下の臨界ノズルを備える臨界ノズル式ガス流量計Aを用いて、複数本の臨界ノズルを備える臨界ノズル式ガス流量計Bを校正及び値付けすることにより、校正及び値付け可能な圧力範囲が0.6MPa以下で且つ校正及び値付け可能な流量範囲が1.0kg/min以下の臨界ノズル式ガス流量計Bを得る工程、 前記臨界ノズル式ガス流量計Bを用いて、複数本の臨界ノズルを備える臨界ノズル式ガス流量計Cを校正及び値付けすることにより、校正及び値付け可能な圧力範囲が0.9MPa以下で且つ校正及び値付け可能な流量範囲が3.6kg/min以下の臨界ノズル式ガス流量計Cを得る工程、 前記臨界ノズル式ガス流量計Cを用いて、スロート径が互いに異なる複数本の臨界ノズルを備える臨界ノズル式ガス流量計Dを校正及び値付けすることにより、校正及び値付けした最大圧力が87.5MPaで且つ校正及び値付けした最大流量が3.6kg/minの臨界ノズル式ガス流量計を得る工程、 を有する臨界ノズル式ガス流量計の製造方法。
IPC (2件):
G01F 25/00 ( 200 6.01) ,  G01F 1/42 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01F 25/00 E ,  G01F 1/42 B ,  G01F 25/00 K
引用特許:
審査官引用 (2件)
引用文献:
前のページに戻る