塗布装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-173375
公開番号（公開出願番号）：特開2020-044477
出願日： 2018年09月18日
公開日（公表日）： 2020年03月26日
要約：

【課題】塗布材料を薄く且つ均一に塗布するとともに、構成の簡素化を図り且つ製造コストの増加を抑制することができる塗布装置を提供すること。【解決手段】被塗布部材が載置されるステージと、塗布材料が供給される供給部と、前記塗布材料を前記被塗布部材に向けて吐出する吐出部と、前記供給部と前記吐出部との間に配設され、前記塗布材料を貯留する貯留空間を備える貯留部と、前記貯留部との相対的な位置関係にともなって前記貯留空間に対する占拠率を変更し、前記塗布材料の塗布量を調整する塗布量調整部と、前記ステージ又は前記吐出部のいずれか、及び前記貯留部又は前記塗布量調整部のいずれかを移動させる移動機構と、前記移動機構は、前記ステージ又は前記吐出部の移動させるものの移動速度及び移動量と、前記貯留部又は前記塗布量調整部の移動させるものの移動速度及び移動量を同一にする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被塗布部材の塗布面に対して塗布材料を塗布する塗布装置であって、前記被塗布部材が載置されるステージと、前記塗布材料が供給される供給口を備える供給部と、前記塗布材料を前記被塗布部材に向けて吐出する吐出口を備える吐出部と、前記供給部と前記吐出部との間に配設され、前記塗布材料を貯留する貯留空間を備える貯留部と、前記貯留空間に少なくとも一部が配置され、前記貯留部との相対的な位置関係にともなって前記貯留空間に対する占拠率を変更し、前記塗布材料の塗布量を調整する塗布量調整部と、前記ステージ又は前記吐出部の一方を停止した状態において、他方を前記塗布面に平行な平面における所定方向に移動させ、且つ前記貯留部又は前記塗布量調整部の一方を停止した状態において、他方を前記所定方向に移動させる移動機構と、前記移動機構は、前記ステージ又は前記吐出部の移動させるものの移動速度及び移動量と、前記貯留部又は前記塗布量調整部の移動させるものの移動速度及び移動量を同一にする塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 5/00 , B05C 11/10

FI (2件)：

B05C5/00 101 , B05C11/10

Fターム (16件)：

4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA01 , 4F041BA10 , 4F041BA12 , 4F041BA32 , 4F041BA34 , 4F041BA57 , 4F041BA60 , 4F042AA06 , 4F042BA08 , 4F042BA25 , 4F042BA27 , 4F042CB11 , 4F042CC08 , 4F042DF34

引用特許：

出願人引用 (4件)

塗布ヘッド及び塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2017-200764 出願人：株式会社SAT
膨張可能チャンバ装置を備えた塗布ダイ
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-546719 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
配線形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-139800 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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