特許
J-GLOBAL ID：202003016918428590
ワーク分割装置及びワーク分割方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-149680
公開番号（公開出願番号）：特開2018-019007
特許番号：特許第6710889号
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ダイシングテープに貼付されてリング状のフレームにマウントされたウェーハを、個々のチップに分割するワーク分割装置において、
前記ダイシングテープは、前記ウェーハが貼付された分割領域と、前記分割領域の外側に形成される非分割領域とを有し、
前記分割領域に対して前記非分割領域が相対的に低温となる温度差を生じさせる温度差生成手段と、
前記温度差生成手段によって温度差が生じた前記ダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド手段と、
を備え、
前記温度差生成手段は、
前記分割領域に第1温度を付与する第1温度付与手段と、
前記非分割領域に前記第1温度よりも低い第2温度を付与する第2温度付与手段と、
を有し、
前記エキスパンド手段は、前記ダイシングテープの前記非分割領域を突き上げるエキスパンドリングを有し、
前記第2温度付与手段は、前記非分割領域のうち、前記エキスパンドリングの外周部と前記フレームの内周部との間に位置する領域に前記第2温度を付与する、ワーク分割装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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