特許
J-GLOBAL ID：202003017344007806
プラズマリアクタ用制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
皆川 祐一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036261
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152341
特許番号：特許第6704641号
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマリアクタの電極に印加される印加電流の値を当該値が正の値をとる所定期間にわたって積算する電流積算手段と、
前記所定期間における前記印加電流のピーク値を取得するピーク値取得手段と、
前記電流積算手段による積算電流値が所定の積算異常判定値以上であるか、または、前記ピーク値取得手段によって取得されるピーク値が所定のピーク異常判定値以上である場合に、前記プラズマリアクタにおける異常放電の発生を判定する異常放電判定手段とを含み、
前記電極に印加される電圧を検出する電圧センサを備えていない、プラズマリアクタ用制御装置。
IPC (5件)：
H05H 1/24 ( 200 6.01)
, F01N 3/18 ( 200 6.01)
, F01N 3/08 ( 200 6.01)
, F01N 3/023 ( 200 6.01)
, B01J 19/08 ( 200 6.01)
H05H 1/24
, F01N 3/18 C
, F01N 3/08 C
, F01N 3/023 E
, B01J 19/08 K
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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