スパッタリングカソードおよびスパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-091045
公開番号（公開出願番号）：特開2019-189932
特許番号：特許第6732839号
出願日： 2018年05月10日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】横断面形状が互いに対向する一対の長辺部を有する管状または環状の形状を有し、エロージョン面が内側を向いているスパッタリングターゲットを有し、前記スパッタリングターゲットに沿って磁気回路が設けられているスパッタリングカソードにおいて、前記一対の長辺部が互いに平行でそれぞれロータリーターゲットにより構成され、前記ロータリーターゲットは内部に、その中心軸に平行にかつ中心軸から半径方向に偏った位置に設けられた長方形の横断面形状を有する永久磁石からなる前記磁気回路の一部が設けられ、かつ冷却水が流されるように構成され、前記永久磁石は前記長方形の横断面形状の一方の短辺側がN極、他方の短辺側がS極の極性を有し、前記一対の長辺部に垂直な互いに対向する一対の短辺部を有し、前記一対の短辺部は長方形の横断面形状を有し、前記一対の短辺部は前記ロータリーターゲットに面する両端部が前記ロータリーターゲットの円筒形状に対応して丸く凹んでおり、前記ロータリーターゲットの回転に支障が生じない程度に近接しており、前記一対の短辺部の外側に上下一対の永久磁石が上下方向に互いに離れて、かつ前記一対の短辺部に接して設けられ、前記一対の永久磁石のうち上側の永久磁石は前記一対の短辺部側がN極、前記一対の短辺部と反対側がS極の極性を有するとともに、前記一対の永久磁石のうち下側の永久磁石は前記一対の短辺部側がS極、前記一対の短辺部と反対側がN極の極性を有し、または、前記一対の永久磁石のうち上側の永久磁石は前記一対の短辺部側がS極、前記一対の短辺部と反対側がN極の極性を有するとともに、前記一対の永久磁石のうち下側の永久磁石は前記一対の短辺部側がN極、前記一対の短辺部と反対側がS極の極性を有し、さらに前記一対の永久磁石の外側に前記一対の永久磁石に接してヨークが設けられ、前記ロータリーターゲットの内部の前記永久磁石、前記一対の永久磁石および前記ヨークにより前記磁気回路が形成され、前記磁気回路は前記スパッタリングターゲットの内面に沿って周回するプラズマが発生するような極性を有することを特徴とするスパッタリングカソード。

IPC (1件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 14/34 C , C23C 14/34 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第6151401号
連続成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-119698 出願人：株式会社神戸製鋼所
スパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-070994 出願人：株式会社SCREENホールディングス

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