特許
J-GLOBAL ID:202003017846061723

真空冷却装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 岩池 満 ,  加藤 竜太
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-047403
公開番号(公開出願番号):特開2017-161184
特許番号:特許第6662118号
出願日: 2016年03月10日
公開日(公表日): 2017年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被冷却物を収容する冷却槽と、 前記被冷却物の温度を検出する品温センサと、 前記冷却槽の内部の圧力を検出する圧力センサと、 前記冷却槽を減圧する真空吸入ラインと、 前記真空吸入ラインに接続された真空吸引部と、 制御部と、 を備え、 前記制御部は、 前記品温センサの検出温度に基づいて、前記検出温度が予め設定される目標温度に到達するまで、前記真空吸引部の作動を制御する第1減圧制御部と、 前記圧力センサの検出圧力に基づいて、前記検出圧力が前記目標温度から予め設定された所定温度を減算した第1目標温度に対応する飽和圧力値に到達するまで、前記真空吸引部の作動を制御する第2減圧制御部と、 前記品温センサに異常が発生しているか否かを判定する品温センサ異常判定部と、 前記品温センサ異常判定部により前記品温センサに異常が発生していると判定した場合、前記第1減圧制御部による前記真空吸引部の作動制御を停止させ、前記第2減圧制御部による前記真空吸引部の作動制御を起動する減圧制御切替部と、 を備える真空冷却装置。
IPC (1件):
F25D 7/00 ( 200 6.01)
FI (1件):
F25D 7/00 A
引用特許:
審査官引用 (9件)
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