特許
J-GLOBAL ID：202003018168533152

載置台および被処理体の除電方法

発明者：
上田 雄大

上田 雄大 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-216978
公開番号（公開出願番号）：特開2020-088048
出願日： 2018年11月20日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：
【課題】処理後の被処理体を迅速に除電する。【解決手段】載置台は、静電チャックと、ガス供給路と、照射部とを備える。静電チャックは、被処理体を載置し、静電気力により被処理体を吸着保持する。ガス供給路は、静電チャックを介して、静電チャック上に載置された被処理体と静電チャックとの間にガスを供給する。照射部は、ガス供給路内を流れるガスまたは被処理体と静電チャックとの間に供給されたガスに所定波長の光を照射することにより、ガスをイオン化する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理体を載置し、静電気力により前記被処理体を吸着保持する静電チャックと、 前記静電チャックを介して、前記静電チャック上に載置された前記被処理体と前記静電チャックとの間にガスを供給するガス供給路と、 前記ガス供給路内を流れる前記ガスまたは前記被処理体と前記静電チャックとの間に供給された前記ガスに所定波長の光を照射することにより、前記ガスをイオン化する照射部と を備える載置台。
IPC (2件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/302 101G ,  H01L21/68 R
Fターム (25件)：
5F004AA16 ,  5F004BA08 ,  5F004BB05 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB23 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004BB29 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA05 ,  5F131CA09 ,  5F131CA18 ,  5F131CA68 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB24 ,  5F131EB78 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131EB84
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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