特許
J-GLOBAL ID：200903064331694138
表面形状計測装置およびその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270977
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097678
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 対象物1を照明する照明手段2と、対象物1表面上の各位置での照明入射角度が連続して変化するように対象物1を移動させる移動手段3と、対象物1を連続的に撮像して対象物1表面上の各位置での照明入射角度が異なる複数の画像を取得する撮像手段4と、これらの照明入射角度が異なる複数の画像に対して、角度分布画像を求める画像処理手段5とを備えてなる表面形状計測装置において、対象物の移動速度の変化に左右されずに画像間での対象物上の同一点の正確な対応づけができ、高速かつ高精度に対象物の表面形状が計測できる表面形状計測装置およびその方法を提供すること【解決手段】 対象物1が所定移動量を移動したことを検知する移動検知手段6を備え、この移動検知手段6による検知に対応して撮像手段4を動作させるようになした。
請求項（抜粋）：
対象物を照明する照明手段と、対象物表面上の各位置での照明入射角度が連続して変化するように対象物を移動させる移動手段と、対象物を連続的に撮像して対象物表面上の各位置での照明入射角度が異なる複数の画像を取得する撮像手段と、これらの照明入射角度が異なる複数の画像に対して、対象物表面全点について、同一の点における明度が最大となる時の正反射照明入射角度の分布を求め、対象物表面全点の正反射照明入射角度の分布を示す角度分布画像を求める画像処理手段とを備えてなる表面形状計測装置において、対象物が所定移動量を移動したことを検知する移動検知手段を備え、この移動検知手段による検知に対応して撮像手段を動作させるようになしたことを特徴とする表面形状計測装置。
Fターム (25件)：
2F065AA02
, 2F065AA09
, 2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB27
, 2F065CC01
, 2F065DD03
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF17
, 2F065FF42
, 2F065GG16
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065MM02
, 2F065PP11
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ38
, 2F065QQ43
, 2F065QQ45
, 2F065RR07
, 2F065UU05
, 2F065UU06
