特許
J-GLOBAL ID:202003021304606178

吸着剤及び流体供給パッケージ並びにそれを含む装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 園田・小林特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-543058
特許番号:特許第6683821号
出願日: 2016年11月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】吸着剤を含む、使用のための流体を供給するための組成物であって、前記吸着剤は、前記吸着剤の上に可逆的に吸着された、シラン又はジシランからなる流体を有し、前記吸着剤は、チタニア、ジルコニア及びシリカライトからなる群から選択される材料を含む、組成物。
IPC (5件):
B01J 20/06 ( 200 6.01) ,  B01J 20/18 ( 200 6.01) ,  B01J 20/34 ( 200 6.01) ,  B01J 20/10 ( 200 6.01) ,  F17C 11/00 ( 200 6.01)
FI (5件):
B01J 20/06 A ,  B01J 20/18 B ,  B01J 20/34 E ,  B01J 20/10 A ,  F17C 11/00 A
引用特許:
審査官引用 (7件)
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