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J-GLOBAL ID：202102211017011650   整理番号：21A0027156

前処理に必要な器具や装置の正しい使用法 真空ポンプ

著者 (1件)： 小倉正平 (東京電機大)
資料名： ぶんせき
号： 12  ページ： 496-497  発行年： 2020年12月05日 
JST資料番号： S0128B  ISSN： 0386-2178  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・電子やイオンの平均自由工程を長くする目的で分析装置に用いられ,試料表面への分子の吸着を防ぐために表面分析に用いられ,測定試料を保管する真空デシケータにも用いられる真空ポンプの使い方と使用上の注意。
・真空ポンプの種類と主ポンプと荒引きポンプ,補助ポンプの組み合わせ,真空ポンプの性能を表す圧縮比,排気速度の解説とポンプによる特徴。
・真空ポンプ性能向上のために,真空槽と真空ポンプをコンダクタンスの大きい配管でつなぐこと,真空槽内の水分を減らすためのベーキングと油汚染を防ぐことの重要性。
・ロータリーポンプの停止時の油汚染を防ぐための注意点,ターボ分子ポンプやイオンポンプへの部品の落下の防止の重要性,大気開放するときのターボ分子ポンプの停止法,熱陰極電離真空計の停止時期や停止法。

シソーラス用語： *真空ポンプ ,  表面分析 ,  *分析機器 ,  吸着 ,  平均自由行程 ,  圧縮比 ,  *速度 ,  回転ポンプ ,  分子ポンプ ,  イオンポンプ【真空】 ,  クライオポンプ ,  真空計 ,  *排気速度 ,  ターボモレキュラポンプ
準シソーラス用語： ターボ分子ポンプ

分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  真空ポンプ  (QD04030I)

引用文献 (5件)：

• 湯山純平, 末次祐介: J. Vac. Soc. Jpn., 56, 210 (2013).
• 株式会社アルバック: ′′新版真空ハンドブック′′, (2002), (オーム社出版局).
• 福谷克之: 応用物理, 78, 991 (2009).
• 穂坂浩之: 表面と真空, 61, 496 (2018).
• 後藤康仁: J. Vac. Soc. Jpn., 59, 184 (2016).

タイトルに関連する用語 (3件)： 器具 ,  使用法 ,  真空ポンプ