特許
J-GLOBAL ID：202103002458335773
超純水製造システム及び超純水製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
早川 裕司
, 村雨 圭介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-230478
公開番号（公開出願番号）：特開2018-086619
特許番号：特許第6907514号
出願日： 2016年11月28日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 前処理システムと一次純水システムと二次純水システムとをこの順に備える超純水の製造システムであって、
前記一次純水システムが、第一イオン交換装置、逆浸透膜装置、第二イオン交換装置、第三イオン交換装置をこの順に備え、
前記第二イオン交換装置が、非再生式の混床式イオン交換装置であり、
前記第三イオン交換装置がホウ素を含む被処理水をイオン交換樹脂で処理する非再生式のイオン交換装置であり、該第三イオン交換装置が、前記一次純水システムの末端に設けられており、
前記第三イオン交換装置が、
イオン交換樹脂を充填するための収容部と、
前記収容部に被処理水を供給するための供給部と、
前記収容部から処理水を排出するための排出部と
を有し、
前記収容部には、前記供給部側にホウ素選択性イオン交換樹脂が、前記排出部側にホウ素選択性イオン交換樹脂以外のイオン交換樹脂が、それぞれ充填されており、
前記ホウ素選択性イオン交換樹脂以外のイオン交換樹脂が、強塩基性アニオン交換樹脂である
超純水製造システム。
IPC (5件)：
C02F 1/42 ( 200 6.01)
, B01J 47/026 ( 201 7.01)
, B01J 47/04 ( 200 6.01)
, B01J 45/00 ( 200 6.01)
, B01J 43/00 ( 200 6.01)
C02F 1/42 A
, B01J 47/026
, B01J 47/04
, B01J 45/00
, B01J 43/00
