特許
J-GLOBAL ID：202103004924215352
ポリマー、感放射線性組成物、化合物及びデバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
SK特許業務法人
, 奥野 彰彦
, 伊藤 寛之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-558936
特許番号：特許第6913031号
出願日： 2016年12月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記式(1)で示される基を含む構造単位(I)を有するポリマーであり、
前記構造単位(I)が、下記式(2)で示されるポリマー。
(前記式(1)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、置換基を有してもよい直鎖状又は分岐状の炭素数1〜10の1価の脂肪族炭化水素基;置換基を有してもよい炭素数3〜15の1価の脂環式炭化水素基;前記脂肪族炭化水素基及び脂環式炭化水素基の少なくなくとも1つのメチレン基が2価のヘテロ原子含有基で置換された基;炭素数6〜30の芳香族炭化水素基;及び炭素数6〜30の芳香族複素環基;からなる群より選択されるいずれかであり、且つ、
R1及びR2は互いに単結合で直接結合して、又は、酸素原子、硫黄原子及びメチレン基からなる群より選択されるいずれかを介して、環構造を形成し、
R3は、置換基を有してもよい、ラクトン骨格、スルトン骨格及びラクタム骨格からなる群より選択される少なくともいずれかを含む炭素数3〜15の1価の橋かけ脂環式炭化水素基であり、
Xはカルボニルオキシ基であり、
*はポリマー主鎖部との結合部位を示し、
前記式(2)中、R1、R2、R3及びXはそれぞれ独立して前記式(1)のR1、R2、R3及びXの選択肢から選択されるいずれかであり、
R4は、水素原子;フッ素原子;直鎖、分岐又は環状の炭素数1〜6のアルキル基;及び、直鎖、分岐又は環状の炭素数1〜6のアルケニル基;からなる群より選択されるいずれかであり、該R4中の前記アルキル基及びアルケニル基中の少なくとも1つの水素原子がフッ素原子に置換されていてもよい。)
IPC (7件)：
C08F 20/18 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, C07D 315/00 ( 200 6.01)
, C07D 327/02 ( 200 6.01)
, C07D 227/087 ( 200 6.01)
C08F 20/18
, G03F 7/039 601
, G03F 7/038 601
, G03F 7/20 501
, C07D 315/00
, C07D 327/02
, C07D 227/087
