特許
J-GLOBAL ID：202103006082817971
積層装置、薄化装置、露光装置制御装置、プログラム及び積層体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-166947
公開番号（公開出願番号）：特開2018-036317
特許番号：特許第6805640号
出願日： 2016年08月29日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1基板と第2基板とを積層した積層体を生成する積層部と、
前記第1基板、前記第2基板および前記積層体の少なくとも1つの計測値を用いて生成された所定情報を外部の装置に出力する出力部と、を有し、
前記所定情報は、第1基板、第2基板、および、積層体の少なくとも1つの、変形、撓み、反り、および、歪みの少なくとも1つに関する情報を含む、積層装置。
IPC (7件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H05K 3/46 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
, H01L 25/065 ( 200 6.01)
, H01L 25/07 ( 200 6.01)
, H01L 25/18 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, H05K 3/46 Y
, H05K 3/46 W
, H01L 21/02 B
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/60 311 T
, H01L 25/08 Y
, H01L 25/08 B
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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