特許
J-GLOBAL ID:202103007204105176
炭化珪素粉末の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-211654
公開番号(公開出願番号):特開2018-070408
特許番号:特許第6792412号
出願日: 2016年10月28日
公開日(公表日): 2018年05月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】 炭化珪素粉末を塩化物イオンが含まれる溶液に浸漬する溶液浸漬ステップと、
前記炭化珪素粉末が浸漬された前記溶液の導電率を測定して前記導電率が所定の導電率以下か否かを判定する判定ステップと、を含み、
前記判定ステップにおいて前記溶液の導電率が所定の導電率以下でないと判定された場合には、当該浸漬された炭化珪素粉末と前記溶液とを分離し、前記炭化珪素粉末を水に浸漬する水浸漬ステップを実行し、その後再度前記判定ステップを実行し、
前記判定ステップにおいて前記溶液の導電率が所定の導電率以下と判定された場合には、当該浸漬された炭化珪素粉末と前記溶液とを分離し、前記炭化珪素粉末を乾燥させる乾燥ステップを実行することを特徴とする炭化珪素粉末の製造方法。
IPC (3件):
C30B 29/36 ( 200 6.01)
, C30B 23/06 ( 200 6.01)
, C01B 32/956 ( 201 7.01)
FI (3件):
C30B 29/36 A
, C30B 23/06
, C01B 32/956
引用特許: