特許
J-GLOBAL ID：202103007512317605

ウエハ拡張装置

発明者：
中村 悠樹

中村 悠樹 について


出願人/特許権者：
ヒューグル開発株式会社

ヒューグル開発株式会社 について


代理人 (1件)： 樋口 正樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-224190
公開番号（公開出願番号）：特開2018-082086
特許番号：特許第6820000号
出願日： 2016年11月17日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ダイシング済みウエハが表面に貼着されたフィルムを裏面から押し上げて拡張し、前記ウエハを複数のチップに分割して拡張させる昇降可能な昇降ステージと、 該昇降ステージに着脱可能に設けられた第1のリングと、 前記昇降ステージの上昇により所定位置に到達した前記第1のリングの外周に、前記フィルムを間にして嵌合する第2のリングと、 前記第2のリングが前記所定位置に到達する第1のリングの外周に前記フィルムを間にして篏合するように、前記第2のリングを着脱可能に保持するリング保持部と、を有し、 前記リング保持部は、前記昇降ステージを設けた装置本体に回動可能に連結し、その回動動作によって前記昇降ステージの上方において保持した前記第2のリングを前記第1のリングに篏合させる篏合位置に位置づけられる、ウエハ拡張装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/78 W ,  H01L 21/68 N
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM