真空ポンプおよび真空ポンプに備わる制御装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：仲野均 , 川井隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-244436
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096346
特許番号：特許第6934298号
出願日： 2016年12月16日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空ポンプ本体を制御する制御回路が配設される制御基板部を具備する制御装置と、前記真空ポンプ本体を制御することにより発生する回生エネルギーを処理する回生抵抗部と、前記真空ポンプ本体の外周面に開口部を有する空洞部と、を備える真空ポンプであって、前記制御基板部は、当該制御基板部を内包する筐体である制御基板部用筐体内に配設され、前記回生抵抗部は、前記制御基板部から配線を介して、前記空洞部に挿入され、前記真空ポンプ本体の周方向の一部に埋め込まれて配設されることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (1件)：