特許
J-GLOBAL ID：202103009993972710
感光性の層を露光するための装置および方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 森田 拓
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-531426
特許番号：特許第6935498号
出願日： 2016年12月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光路を有する光学システム(8)によって感光性の層(9)を露光するための方法であって、少なくとも1つの光ビーム(6,6’)をそれぞれ少なくとも1つの光源(7)によって発生させ、露光格子(24,24’,24’’,24’’’)のピクセル(23)を、複数のマイクロミラー(3)を備えた少なくとも1つのマイクロミラーデバイス(1)によって照明する、方法において、
それぞれ1つの円筒軸線を備えた2つのシリンドリカルレンズによって、前記露光格子(24,24’,24’’,24’’’)の水平方向のかつ/または鉛直方向の露光格子線を剪断変形し、前記マイクロミラーデバイス(1)から出たDMD画像の剪断変形が前記光路に沿って行われ、
前記ピクセル(23)の強度分布は、前記ピクセル(23)のエネルギの50%よりも多くのエネルギを、該ピクセル(23)に直接対応する画像面に認めることができ、前記ピクセル(23)の50%未満の残りのエネルギは、該ピクセル(23)に直接対応する画像面に隣接したフィールドに分配されるように、選択される、ことを特徴とする、方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G02B 26/02 ( 200 6.01)
G03F 7/20 521
, G03F 7/20 501
, G02B 26/02 E
