特許
J-GLOBAL ID：202103012319951449
化学元素濃度の測定および半導体プロセスの制御のための熱リン酸の自動サンプリング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山田 卓二
, 田中 光雄
, 中野 晴夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-236915
公開番号（公開出願番号）：特開2017-106917
特許番号：特許第6855048号
出願日： 2016年12月06日
公開日（公表日）： 2017年06月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の位置においてリン酸サンプルを集めるように構成されたリモートサンプリングシステムであって、リモートバルブに結合された保持ループを有する前記リモートバルブを含む前記リモートサンプリングシステムと、
前記第1の位置から離れた第2の位置に配置されるように構成された分析システムと、を含むシステムであって、
前記分析システムは、移送ラインによって前記リモートバルブに結合され、前記分析システムは、前記リン酸サンプルの1つ以上の成分の濃度を測定するように構成された分析デバイスを含み、および前記分析デバイスによる分析のためにサンプルを前記保持ループから前記移送ラインに導入するように構成された前記第2の位置のサンプルのポンプを含み、
前記分析システムは、キャリア流体ラインによって前記リモートバルブに結合されたキャリアポンプ、希釈流体ラインによって前記リモートバルブに結合された希釈ポンプ、または標準流体ラインによって前記リモートバルブに結合された標準ポンプのうちの少なくとも1つを含み、
前記システムは、前記移送ラインの少なくとも一部を取り囲む熱シースと、前記キャリア流体ライン、前記希釈流体ライン、または前記標準流体ラインのうちの少なくとも1つと、をさらに含み、
前記熱シースは、前記熱シースと前記移送ラインとの間の環状領域内にある温度調節された流体を含む、
システム。
IPC (4件)：
G01N 1/00 ( 200 6.01)
, G01N 1/10 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
, G01N 21/73 ( 200 6.01)
G01N 1/00 101 G
, G01N 1/00 101 L
, G01N 1/10 W
, H01L 21/306 E
, G01N 21/73
