特許
J-GLOBAL ID：202103012780407734
基板間LED移送のための、孤立III族窒化物光アイランド上のレーザリフトオフ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 西守 有人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-529267
特許番号：特許第6806774号
出願日： 2016年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 デバイスを移送する方法であって、
第1移送基板とその上の第1デバイス層との組み合わせを提供することと、
前記第1デバイス層上に第1デバイス接着パッドを形成することと、
前記第1デバイス層を通じたチャネルを形成することであって、第1デバイスは、前記チャネルによって横方向に互いに分離される前記第1デバイス層の残りの部分を含む第1の色の発光ダイオードを含む、形成することと、
ターゲット基板上に第1、第2および第3接着パッドを形成することと、
前記ターゲット基板上の前記第2接着パッドおよび前記第3接着パッドを接着せずに残したまま、前記第1デバイス接着パッドと前記第1接着パッドとを選択的に加熱しリフローするために前記第1の色の発光ダイオードを通して加熱レーザビームを照射し、前記ターゲット基板上の前記第1接着パッドに前記第1デバイス接着パッドを接着することによって、前記ターゲット基板に前記第1移送基板上の前記第1デバイスを接着することと、
前記第1移送基板を通じて前記第1デバイスに切除レーザビームを照射することによって、前記第1移送基板と前記第1デバイスとの間の界面領域から前記第1デバイスの表面部分を取り除くことと、
前記ターゲット基板および前記第1デバイスの残りの部分を含む接着されたアセンブリから前記第1移送基板を分離することと、
前記第1の色の発光ダイオードとは異なる色の光を発する第2の色の発光ダイオードを含む第2移送基板を、前記ターゲット基板上の前記第2接着パッドに対向するよう提供することであって、前記第2の色の発光ダイオードの部分集合が前記ターゲット基板に接着された前記第1の色の発光ダイオードと重なる位置において前記第2移送基板から除去されることによって、前記第1の色の発光ダイオードと前記第2の色の発光ダイオードとの衝突を避ける、提供することと、
前記ターゲット基板上の前記第3接着パッドを接着せずに残したまま、かつ、前記第1の色の発光ダイオードが前記ターゲット基板上の前記第1接着パッドに接着されたまま、前記第2の色の発光ダイオード上に形成された第2デバイス接着パッドと前記第2接着パッドとを選択的に加熱しリフローするために前記第2の色の発光ダイオードを通して加熱レーザビームを照射し、前記ターゲット基板上の前記第2接着パッドに前記第2移送基板上の前記第2の色の発光ダイオードを接着することと、
前記ターゲット基板と前記接着された第1の色の発光ダイオードと前記接着された第2の色の発光ダイオードとを含む前記接着されたアセンブリから前記第2移送基板を分離することと、
前記第1の色の発光ダイオードとも前記第2の色の発光ダイオードとも異なる色の光を発する第3の色の発光ダイオードを含む第3移送基板を、前記ターゲット基板上の前記第3接着パッドに対向するよう提供することであって、前記第3の色の発光ダイオードの部分集合が前記ターゲット基板に接着された前記第1および前記第2の色の発光ダイオードと重なる位置において前記第3移送基板から除去されることによって、前記第1の色の発光ダイオードと前記第2の色の発光ダイオードと前記第3の色の発光ダイオードとの衝突を避ける、提供することと、
前記第1の色の発光ダイオードが前記ターゲット基板上の前記第1接着パッドに接着されたまま、かつ、前記第2の色の発光ダイオードが前記ターゲット基板上の前記第2接着パッドに接着されたまま、前記第3の色の発光ダイオード上に形成された第3デバイス接着パッドと前記第3接着パッドとを選択的に加熱しリフローするために前記第3の色の発光ダイオードを通して加熱レーザビームを照射し、前記ターゲット基板上の前記第3接着パッドに前記第3移送基板上の前記第3の色の発光ダイオードを接着することと、
前記ターゲット基板と前記接着された第1の色の発光ダイオードと前記接着された第2の色の発光ダイオードと前記接着された第3の色の発光ダイオードとを含む前記接着されたアセンブリから前記第3移送基板を分離することと、を備える方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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