特許
J-GLOBAL ID：202103016433881820
物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-520816
特許番号：特許第6791132号
出願日： 2016年05月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体を保持する保持面を有する保持部と、
前記保持面と前記物体との間に供給される気体が流動可能な流路を構成する流路形成部材を有し、前記保持部が載置される気体流路部と、
前記気体流路部が載置されるベース部と、備え、
前記気体流路部は、前記流路が第1方向に延在し、且つ前記第1方向に交差する第2方向に複数並ぶように構成され、
前記流路形成部材は、前記保持部が載置される載置面に形成された貫通孔を介して、前記流路を流れる前記気体が前記保持面と前記物体との間へ供給可能に形成される物体保持装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 P
