特許
J-GLOBAL ID：202103017362276102
ワークキャリア及びワークキャリアの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
弁護士法人クレオ国際法律特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-198425
公開番号（公開出願番号）：特開2018-058176
特許番号：特許第6800402号
出願日： 2016年10月06日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属製のキャリア基板に形成されたワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられるとともに、前記ワーク保持孔の前記樹脂インサート部より中心側に配置される薄板状のワークを研磨加工するためのワークキャリアであって、
前記ワーク保持孔の外縁部となる前記キャリア基板には、周方向に間隔を置いて交互に、表裏方向にそれぞれ窪む表側凹部と裏側凹部とが形成され、
前記表側凹部及び裏側凹部には、前記樹脂インサート部の径方向の移動を阻止する抵抗部が設けられているとともに、前記表側凹部及び裏側凹部並びに前記ワーク保持孔の内周面に沿った部分に樹脂インサート部となる合成樹脂材が充填されていることを特徴とするワークキャリア。
IPC (3件)：
B24B 37/24 ( 201 2.01)
, B24B 41/06 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/24
, B24B 41/06 L
, H01L 21/304 622 G
