特許
J-GLOBAL ID：202103017496786999

硬質皮膜の成膜方法

発明者：
佐藤 嗣紀

佐藤 嗣紀 について


出願人/特許権者：
株式会社不二越

株式会社不二越 について


代理人 (2件)： 梅本 幸作 ,  岡島 明子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-127290
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003046
特許番号：特許第6789503号
出願日： 2016年06月28日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Al1-yCry(0.05≦y≦0.20:yはCrの原子比率を示す。)から成るターゲットを内部に備えるカソードアーク方式イオンプレーティング装置を用いて窒化物の硬質皮膜を成膜する方法であって、前記カソードアーク方式イオンプレーティング装置内に設置する基板に対して印加するバイアス電圧を-120V〜-170Vの範囲とし、前記基板の温度を330°C〜370°Cの範囲として前記硬質皮膜を成膜することを特徴とする硬質皮膜の成膜方法。
IPC (6件)：
C23C 14/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/32 ( 200 6.01) ,  B23B 51/00 ( 200 6.01) ,  B23B 27/14 ( 200 6.01) ,  B23C 5/16 ( 200 6.01) ,  B23F 21/00 ( 200 6.01)
FI (6件)：
C23C 14/06 L ,  C23C 14/32 Z ,  B23B 51/00 J ,  B23B 27/14 A ,  B23C 5/16 ,  B23F 21/00
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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