特許
J-GLOBAL ID：202103018762254988

加工方法

発明者：
長澤 唯人

長澤 唯人 について

, 
大島 直敬

大島 直敬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-203070
公開番号（公開出願番号）：特開2018-062051
特許番号：特許第6812068号
出願日： 2016年10月14日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 砥石工具と、該砥石工具が装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転させる回転駆動源とを含む加工手段で被加工物を加工する加工方法であって、 被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、 該回転駆動源の電流値が閾値よりも大きくなったタイミングで純水に二酸化炭素を混入させてなる自生発刃促進液を生成し、該砥石工具の自生発刃を促進させるために該自生発刃促進液を該加工手段に供給して該砥石工具の自生発刃を促進させながら被加工物を加工する加工ステップと、を備えることを特徴とする加工方法。
IPC (5件)：
B24B 53/00 ( 200 6.01) ,  B24B 55/02 ( 200 6.01) ,  B24D 3/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (6件)：
B24B 53/00 B ,  B24B 55/02 Z ,  B24D 3/02 310 A ,  H01L 21/78 F ,  H01L 21/304 621 C ,  H01L 21/304 631
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM