特許
J-GLOBAL ID：202103018987848240
光走査高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福島 祥人
, 中川 雅博
, 澤村 英幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-256614
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109544
特許番号：特許第6859098号
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定点の指定を受け付ける位置情報取得部と、
光を出射する光出射部と、
前記位置情報取得部により受け付けられた測定点に対応する測定対象物の部分を円形または多角形の環状に取り囲む測定対象物の表面の一部領域内で、該一部領域の周方向に並ぶ互いに異なる複数の部分に順次光が照射されるように、前記光出射部から出射された光を偏向して測定対象物に照射する偏向照射部と、
測定対象物からの光を受光し、受光量を示す受光信号を出力する受光部と、
前記一部領域に対応する前記偏向照射部の偏向方向または前記一部領域に対応する測定光の照射位置を検出する検出部と、
前記検出部により検出される前記偏向照射部の偏向方向または前記測定光の照射位置と前記一部領域内の複数の部分から前記受光部に光が入射することにより前記受光部から出力される受光信号とに基づいて、前記指定された測定点に対応する測定対象物の部分の高さを算出する高さ算出部とを備える、光走査高さ測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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