BCN被膜又はBCNO被膜を有する被覆材並びにそれらの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小島清路 , 犬飼宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-033829
公開番号（公開出願番号）：特開2021-134412
出願日： 2020年02月28日
公開日（公表日）： 2021年09月13日
要約：

【課題】基材との密着性に優れるBCN被膜を有する第1被覆材、及び紫外線照射下で蛍光特性を示すBCNO被膜を有する第2被覆材、並びにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】第1被覆材は、基材とその表面の少なくとも一部を被覆するBCN被膜を備える。第2被覆材は、基材とその表面の少なくとも一部を被覆するBCNO被膜とを備え紫外線照射下で蛍光を発する。BCNO被膜は、層間隔が0.34nmの層状構造を有し、10nm以上の領域で各層が基材と平行である。第1被覆材は、ホウ素原子を含む有機化合物の気化物を基材の表面に滞留させ30W/cm2以上のレーザーを照射して製造する。第2被覆材は、第1被覆材を酸素が存在する雰囲気でアニーリング処理又はホウ素原子を含む有機化合物の気化物と酸化ガスとの混合物を基材の表面に滞留させ30W/cm2以上のレーザーを照射して製造する。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

基材と、該基材の表面の少なくとも一部を被覆するBCN被膜とを備え、紫外線照射下では蛍光を発しないことを特徴とする第1被覆材。

IPC (3件)：

C23C 16/38 , C23C 16/48 , C23C 16/56

FI (3件)：

C23C16/38 , C23C16/48 , C23C16/56

Fターム (11件)：

4K030AA07 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030BA49 , 4K030BA50 , 4K030CA06 , 4K030DA09 , 4K030EA01 , 4K030FA07 , 4K030JA13 , 4K030LA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

炭素を多量に含む窒化炭素ホウ素誘電体膜、それを含む電子デバイス、およびそれを形成する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-529714 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-188429 出願人：株式会社日立国際電気
特開昭62-224680

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