特許
J-GLOBAL ID：202103020506687049
試料固定装置及び試料固定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
池田 憲保
, 平瀬 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-185121
公開番号（公開出願番号）：特開2021-060302
出願日： 2019年10月08日
公開日（公表日）： 2021年04月15日
要約：
【課題】試料を保持材に安定して確実に圧着する。【解決手段】試料固定装置100は、試料体113を保持する保持台部105と、試料体113の試料を押圧するための部材であって、保持台部105と互いに対向する押圧部材107と、左右方向に間隔を空けて対置される部材であって、各部材が第1外縁部123及び第2外縁部134が収容される収容部139を含み、当該収容部139の左右方向の間隔を変えるように移動する一対の挟持部材110とを備える。収容部139は、第2外縁部134と上下方向に対して傾斜した傾斜面で係わり合うことによって、互いに近接するに従って第2外縁部134を押圧して下方に次第に移動させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料が保持材を介して配置された試料台を保持する保持台部と、
前記試料を前記保持材に押圧するための部材であって、押圧方向と逆の方向に配置されることによって前記保持台部と互いに対向する押圧部材と、
前記押圧方向と交差する第1軸方向に間隔を空けて対置される部材であって、各部材が前記保持台部及び前記押圧部材のそれぞれの第1外縁部及び第2外縁部が収容される収容部を含み、当該収容部の前記第1軸方向の間隔を変えるように移動する一対の挟持部材とを備え、
前記収容部は、各々に収容された前記第2外縁部と前記押圧方向に対して傾斜した傾斜面で係わり合うことによって、互いに近接するに従って前記第2外縁部を押圧して前記押圧方向に次第に移動させる
ことを特徴とする試料固定装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2G052AA21
, 2G052AA40
, 2G052AD15
, 2G052AD35
, 2G052AD55
, 2G052CA03
, 2G052CA46
, 2G052DA22
, 2G052DA23
, 2G052DA33
, 2G052GA18
, 2G052GA24
, 2G052GA33
, 2G052JA02
, 2G052JA05
, 2G052JA08
