特許
J-GLOBAL ID：202103020617831327
ガス濃度検出ユニット及びガス濃度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
木戸 良彦
, 木戸 一彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-149304
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017650
特許番号：特許第6836028号
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象ガスに含まれる不純物成分の濃度を連続的に検出するためのガス濃度検出ユニットにおいて、
特定波長の測定光を照射する光源と、
光透過性を有するフィルタの光源側の面を覆う不純物成分検知体と、
該不純物成分検知体を透過した前記測定光の強度を検出する測定用受光部と、
前記不純物成分検知体に前記測定対象ガスを供給する測定対象ガス供給経路と、
前記光源から前記不純物成分検知体に向かう測定光が通過する測定用光路と、
前記光源から前記不純物成分検知体に向かう測定光の一部を参照光として分割するビームスプリッタと、
該ビームスプリッタで分割された前記参照光の強度を検出する参照用受光部とを備え、
前記測定用光路の一部と前記測定対象ガス供給経路の一部とが共有されている
ことを特徴とするガス濃度検出ユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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