基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：振角正一 , 大西一正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-160441
公開番号（公開出願番号）：特開2018-029130
特許番号：特許第6808395号
出願日： 2016年08月18日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板が載置される載置部と、載置部に載置された基板の周囲を覆うとともに、基板を搬入するための搬入口が形成されたチャンバと、基板を支持するハンドを有するとともに、ハンドに支持された基板を、搬入口を介してチャンバ内に搬入する搬送ロボットと、搬入口の開口上部に配置されて、搬入口の外側からチャンバ内に向けて斜め下向きにイオン化された気体を吹き付けるイオナイザと、を備え、イオナイザは、搬入口への基板の搬入方向に直交する幅方向に亘って基板にイオン化気体を吹き付け、しかも、ハンドに支持された基板と、その後、載置部に載置された基板とにイオン化された気体を継続して吹き付ける基板処理装置。

IPC (1件)：